第194章 沉浸式光刻技术

林金同与马卫光一走进茶室,秦勋立马站起身来迎接。

马卫光同秦勋简单地握了握手,并没有说任何话,反倒是盯着林本坚看了几眼。

秦勋对于光电所大佬的视若无睹并没有感到奇怪,这些科技大佬对于企业家或者商人向来不放在眼中,尤其是体制中的科技大佬。

不过令秦勋意外的是马卫光似乎认识林本坚,他看着林本坚有些迟疑地问道:“你是林本坚博士?”

林本坚有些奇怪地看了马卫光一眼,他记得自己并不认识这个人。

林本坚疑惑地问道:“你认识我?”

马卫光走上前两步,很热情地向林本坚伸出了手,笑着说道:“9年前在东京有一个关于光刻技术的国际会议你还记得吗?那时候你还在会议上做了报告!”

林本坚恍然大悟,笑着说道:“是有那么回事,你那时候也有参加会议吗?”

马卫光微微一笑,认真的说道:“是啊,不过那时候我是坐在大厅后边座位,没能有机会和你碰上一面!”

“哈哈哈,现在也不晚!”林本坚道。

“不晚不晚,对了,你什么时候回国的……”马卫光话刚说到一半,随即反应过来,他指了指秦勋说道,“你不会就是这个小子从米国带回来的专家吧?”

林本坚哑然失笑,他没想到秦勋在马卫光口中似乎不值一提。duwo.org 比奇小说网

实际上这是两者或者说是两个国度之间的文化差异。

林本坚几乎半辈子都在米国度过,接受的也是西方教育,对于评价一个人,他从来不以年龄为第一判断准则。

而马卫光却有些先入为主地认为秦勋这个年龄的人怎么可能有这么大本事,一定是个大忽悠!

华夏有句老话:“嘴上没毛,办事不牢!”

这种观点不能说他全错,但是有点片面是肯定的。

林本坚笑着说道:“不错,现在这个小子已经是我的老板啦!”

“老板!”马卫光瞪大了眼睛,似乎不敢相信自己的耳朵,这个毛头小子真的有这么大能耐。

林金同拍了拍秦勋的肩膀,虽然他不认识林本坚,但是从好友的反应看来,他应该是个挺有身份地位的人,自己果然没有看错他。

“马所长,林校长,别光站着了,现在燕京怪冷的,坐下喝杯茶吧!”秦勋赶紧招呼道。

这会儿马卫光反应比之前友好了多,他点点头应了一声,随即在位置上坐下。

茶室里是一张花梨木的长桌,四人两两对坐位置正好。

这种场合不宜有服务员出现,秦勋自然充当泡茶、斟茶的角色。

伴随着开水冲入茶壶中,整个室内弥漫着清爽的香气。

林本坚与马卫光一边叙着闲话,一边静静地品茗。

几杯茶下肚,身子里的寒意顿时被驱散,马卫光看了秦勋一眼,认真地问道:“你真的想要研发光刻机?”

秦勋的想法自然已经通过林金同传达给马卫光。

秦勋点点头,坚定地回答道:“是的!”

“你可知研发光刻机不是一年半载就能出成果的,也许花费十年之功都不一定有结果?”马卫光接着问道。

“这我自然知晓!”

“而且研发光刻机需要投入不是一个亿两个亿的事情,那是一笔天文数字,而且还可能血本无归!”

“最重要的是很多光刻机的零部件被西方国家禁运,而以我们国家的工业水平还无法生产这些零部件!”

……

面对马卫光的质疑,秦勋早已有过深思熟虑,他笑着反问道:“www.youxs.org?”

“www.youxs.org!”马卫光自嘲地笑了笑,“看来你功课做的很足,那你应该知道国外业界现在已经把光刻机的工艺做到了用193纳米波长的光来成像!这是多大的差距你知道吗?”

“有多大的差距,能有建国之初我们与西方的差距大吗?”秦勋淡淡地说道,“马所长,建国之初我们在一穷二白的情况下发展到现在,谁能预料到,事在人为!”

“现在光刻机的光源波长被卡死在193纳米,成为了摆在全产业面前的一道难关,不正是我们追赶的机会吗?”

秦勋的话让马卫光愣了一愣,他没想到秦勋居然这么执着。

不过更让他震惊的还在后面。

秦勋扫视了众人一圈,淡淡地说道:“而且我们不是没有弯道超车的机会!”

“机会,什么机会?”马卫光立马追问道,林金同也是一副很感兴趣的样子。

“这件事情是我们最高的机密,我希望两位领导能帮我们保密!”秦勋直起身,严肃的说道。

马卫光与林金同对视了一眼,随后点点头道:“你放心吧,不管成与不成,我们都会为你保密的,如果你不放心,我可以签署保密协议!”

秦勋摇摇头道:“那倒不用,我相信两位领导!”

说完秦勋看了看林本坚。

林本坚点点头,缓缓说道:“现在国外的光刻机以干式光刻技术为主,也就是以空气作为镜头与晶圆间的介质,让光罩上的图形在晶圆上成像。”

马卫光点点头,这是现在光刻机的主流技术,无论是小和国的尼康还是荷兰的asml采用的都是这种技术。

林本坚接着说道:“采用这种技术,要想将光刻机的光源波长突破193nm,就只能从光源出发。”

“就好像雕刻东西一样,花样要精细,刀尖就得锋利,干式光刻技术只能想尽办法把193nm的光波再‘磨’细。”

“我有一种设想,如果我们改用水代替空气作为介质,注入为浸润式设计的镜头与晶圆上的光阻之间,那激光的波长就会大大降低。”

听完林本坚的设想,马卫光一巴掌重重地拍在桌面上,震得茶水都泛起涟漪。

马卫光激动地说道:“天才的想法!我们都知道,水会降低光的波长,以水为介质就能突破波长的限制。林博士,我老马是服了你了!”

林本坚摇了摇头道:“其实也是小秦提醒我的,不然我也想不到这个方法!”

马卫光认真地看了秦勋一眼,现在他相信了林金同的话,这是一个有理想、有能力、有才华的年轻人。

也许他真的能带领华夏的光刻机产业突破国外的封锁!

他认真地说道:“小秦,这件事情我要向上面汇报一下,不过我保证,不会透露一点这个天才想法,你给我7天的时间,7天之内我一定给你答复!”

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