第275章 难题

林荫道上,三五个人小步快走,朝着一栋科技楼走去。

这里是中科院光电所,始建于1970年,是中科院在西南地区规模最大的研究所。

“林教授,国内的生活还习惯吧?”走在最边上的秦勋侧头向边上的人问道。

林本坚双手交叉抱在后脑,一脸轻松写意,他眯着眼睛感受着温暖的太阳,笑盈盈地说道:“很习惯,国内的生活,饮食都非常好,吃到了家乡的味道,我再也不想去吃米国的快餐了!”

“那就好!”秦勋满意地点点头,他就怕林教授在国内的生活不习惯,怕他在这边

其实他是杞人忧天了,面对林本坚这样的尖端人才,中科院和锦城市政府对他的关心可谓是无微不至,生怕有什么地方怠慢了。

“我的妻子现在也来到国内和我一起住了,我们准备就在这里养老了!”林本坚笑着说道。

“那好啊!锦城天府之国,最适合养老,等我们退休,我们一起种种花,喝喝茶,打打麻将,生活巴适的很!”另一侧的中科院光电所马卫光道。

“好啊!到时候我们做对老邻居!”林本坚回道。

“你两老别想着退休后的事情了,还是多想想光刻机的研究吧,现在有什么进展吗?”秦勋打断两个老头的憧憬。duwo.org 比奇小说网

马卫光横了秦勋一眼,哼哼道:“用你这个小崽子说,就你小子最不靠谱了,公司成立这么久也没见你来两次,这个甩手掌柜当的舒坦啊!”

面对马老的抱怨,秦勋左瞧瞧,右看看,装作什么都没有听到。

面对装傻的秦勋,马老也无可奈何。

不过说实话现在神洲微电子装备有限公司用到秦勋的地方并不是太多。

现在的神洲微电子虽说是一个公司,但是它现在更像是一个研究所或者实验室。

光刻机的研究不是一朝一夕的工程,以华夏现在的工业与技术水平,想要在这方面有所突破,最起码要两三年的积淀,而要运用的商用上还要更长的时间。

现在他们能做的就是不断的投入,研发,投入,研发,其他能做的恐怕也只有招揽和培养人才了。

所以秦勋现在能做的也是有限,公司厂区建设这块在如火如荼的建设当中,工程有神洲派来的团队盯着,设备采购也有神洲派来的专员和中科院的人员装门组成团队,一切都是井然有序。

现在中科院光电所、中电科45所、神洲技术团队(林本坚等人)三只队伍正紧密合作,开始启动193纳米duv光刻机项目项目、湿式光刻法的攻克。

虽然国外的尼康、asml等公司已经将光刻机的波长提升到193纳米有一些年头,但是只要他们还没有做出突破,那他们就有弯道超车的机会。

只要他们能成功制造出193纳米的光刻机,然后在原有193纳米干式光刻镜头上发展浸润式光刻,改用水代替空气作为介质,注入为浸润式设计的镜头与晶圆上的光阻之间,那就能将进入光阻的光波长缩到134纳米,一举实现飞跃式的进步!

“我们苦心研究光刻领域,呕心沥血了这么多年,终于见到一丝赶超外国列强的希望了啊!”马卫光忍不住感慨道。

“一切都会越来越好的!现在我们国家经济快速发展,科技领域也在奋起直追,终有一日,我们会赶英超美,重新屹立在世界民族之巅!”秦勋信心满满地说道。

马卫光深深地看了秦勋一眼,笑了笑地说道:“你倒是信心满满!”

“我这是对您和林教授这样的科学家们有信心,有你们这一批兢兢业业,为科学事业呕心沥血的科学家们,我们祖国何愁不能强大!”秦勋义正言辞地说道。

“行了,别拍马屁了!”马卫光摆摆手,可是脸上的笑容却怎么也掩不住。

“你小子也不错,现在的年轻人很少有你这样沉得下心来做一点事情的!”马卫光夸赞道。

林本坚看着两人商业互吹,也是大感有趣,刚刚你还说秦勋不靠谱呢,这会就夸起来了。

很快几人来到实验室,马卫光给秦勋介绍了下原中电科45所的光刻机项目负责人岳智,几人寒暄了一阵,随后给秦勋介绍项目的进展。

他们三只团队分工不同,光电所与原中电科45所的团队合作开发193纳米的光刻机,而林本坚团队专注研究湿式光刻法。

“我们在光源方面已经有了较好的突破,经多次实验研究,我们采用的准分子机关已经能够到达248nm,下一步就可以实验193nm的准分子激光……”

……

www.youxs.org,面色冷峻地说道:“我们现在面临的最主要的问题有三个!”

“第一就是西方国家对我们的技术封锁。因为技术壁垒的原因,我们没办法和海外企业合作,共同研发新技术,只能一点一点的突破,加大投入力度。”

“第二便是技术储备不足,没有借鉴和参照物。因为某些特殊原因,我们在光刻机上的研究停滞了好几年,直到现在才重拾旧路。半导体设备的研发并没有捷径可走,我们只能通过试错,不断吸取教训,从而积累到经验,获得技术上的进步。”

“第三便是光刻机太过于复杂。光刻机制造需要结合整个产业的力量。其实从某种意义上来讲,光刻机并不是一个单一的技术,而是一个技术合集。一台光刻机需要至少10万个部件,很多部件都受到专利保护,或者受到禁运限制。即便我们拥有高端光刻机制造能力,在零件上也很难全部得到满足!”

岳智皱了皱眉头道:“其实前两个问题虽然也很头痛,但是并不难解决,最多花点时间。现在我们三只团队通力协助,又有林教授这样经验丰富的大专家,突破也只是时间问题。最难的还是第三点!”

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